威海藍(lán)港教育咨詢有限公司

無錫真空鍍膜工藝

發(fā)布時間:    來源:威海藍(lán)港教育咨詢有限公司   閱覽次數(shù):58968次

真空鍍膜:離子鍍:離子鍍基本原理是在真空條件下,采用某種等離子體電離技術(shù),使鍍料原子部分電離成離子,同時產(chǎn)生許多高能量的中性原子,在被鍍基體上加負(fù)偏壓。這樣在深度負(fù)偏壓的作用下,離子沉積于基體表面形成薄膜。離子鍍借助于惰性氣體輝光放電,使鍍料(如金屬鈦)氣化蒸發(fā)離子化,離子經(jīng)電場加速,以較高能量轟擊工件表面,此時如通入二氧化碳、氮?dú)獾确磻?yīng)氣體,便可在工件表面獲得TiC、TiN覆蓋層,硬度高達(dá)2000HV。離子鍍技術(shù)較早在1963年由D。M。Mattox提出。1972年,Bunshah&Juntz推出活性反應(yīng)蒸發(fā)離子鍍(AREIP),該方法可以沉積TiN、TiC等超硬膜。1972年Moley&Smith發(fā)展完善了空心熱陰極離子鍍,1973年又發(fā)展出射頻離子鍍(RFIP)。20世紀(jì)80年代又發(fā)展出磁控濺射離子鍍(MSIP)和多弧離子鍍(MAIP)。離子鍍是物理的氣相沉積方法中應(yīng)用較普遍的一種鍍膜工藝。真空鍍膜的操作規(guī)程:把零件放入酸洗或堿洗槽中時,應(yīng)輕拿輕放,不得碰撞及濺出。無錫真空鍍膜工藝

無錫真空鍍膜工藝,真空鍍膜

為了獲得性能良好的半導(dǎo)體電極Al膜,我們通過優(yōu)化工藝參數(shù),制備了一系列性能優(yōu)越的Al薄膜。通過理論計算和性能測試,分析比較了電子束蒸發(fā)與磁控濺射兩種方法制備Al膜的特點(diǎn)??紤]Al膜的致密性就相當(dāng)于考慮Al膜的晶粒的大小,密度以及能達(dá)到均勻化的程度,因為它也直接影響Al膜的其它性能,進(jìn)而影響半導(dǎo)體嘩啦的性能。氣相沉積的多晶Al膜的晶粒尺寸隨著沉積過程中吸附原子或原子團(tuán)在基片表面遷移率的增加而增加。由此可以看出Al膜的晶粒尺寸的大小將取決環(huán)于基片溫度、沉積速度、氣相原子在平行基片方面的速度分量、基片表面光潔度和化學(xué)活性等因素。無錫真空鍍膜工藝在真空中把金屬、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或濺射,使其在被涂覆的物體上凝固并沉積的方法,稱為真空鍍膜。

無錫真空鍍膜工藝,真空鍍膜

真空鍍膜:反應(yīng)磁控濺射法:反應(yīng)磁控濺射沉積過程中基板溫度一般不會有很大的升高,而且成膜過程通常也并不要求對基板進(jìn)行很高溫度的加熱,因此對基板材料的限制較少。反應(yīng)磁控濺射適于制備大面積均勻薄膜,并能實現(xiàn)單機(jī)年產(chǎn)上百萬平方米鍍膜的工業(yè)化生產(chǎn)。但是反應(yīng)磁控濺射在20世紀(jì)90年代之前,通常使用直流濺射電源,因此帶來了一些問題,主要是靶中毒引起的打火和濺射過程不穩(wěn)定,沉積速率較低,膜的缺陷密度較高,這些都限制了它的應(yīng)用發(fā)展。

真空鍍膜的方法很多,計有:真空蒸鍍:將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室,抽空后將膜料加熱到高溫,使蒸氣達(dá)到約13。3Pa而使蒸氣分子飛到基體表面,凝結(jié)而成薄膜。陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體放在陰極對面,把惰性氣體(如氬)通入已抽空的室內(nèi),保持壓強(qiáng)約1。33~13。3Pa,然后將陰極接上2000V的直流電源,便激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基體上形成膜?;瘜W(xué)氣相沉積:通過熱分解所選定的金屬化合物或有機(jī)化合物,獲得沉積薄膜的過程。離子鍍:實質(zhì)上離子鍍系真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機(jī)結(jié)合,兼有兩者的工藝特點(diǎn)。真空鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn):具有優(yōu)良的耐折性和良好的韌性,比較少出現(xiàn)小孔和裂口。

無錫真空鍍膜工藝,真空鍍膜

真空鍍膜:濺射鍍膜:濺射鍍膜是指在真空條件下,利用獲得功能的粒子(如氬離子)轟擊靶材料表面,使靶材表面原子獲得足夠的能量而逃逸的過程稱為濺射。在真空條件下充入氬氣(Ar),并在高電壓下使氬氣進(jìn)行輝光放電,可使氬(Ar)原子電離成氬離子(Ar+)。氬離子在電場力的作用下,加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材,靶材會被濺射出來而沉積到工件表面。被濺射的靶材沉積到基材表面,就稱作濺射鍍膜。濺射鍍膜中的入射離子,一般采用輝光放電獲得,在10-2Pa~10Pa范圍。真空鍍膜中濺射鍍膜有很多種方式。無錫真空鍍膜工藝

真空鍍膜的鍍層質(zhì)量好。無錫真空鍍膜工藝

真空鍍膜:多弧離子鍍:多弧離子鍍又稱作為電弧離子鍍,由于在陰極上有多個弧斑持續(xù)呈現(xiàn),所以稱作為“多弧”。多弧離子鍍的主要特點(diǎn)說明:陰極電弧蒸發(fā)離化源可從固體陰極直接產(chǎn)生等離子體,而不產(chǎn)生熔池,所以可以任意方位布置,也可采用多個蒸發(fā)離化源。鍍料的離化率高,一般達(dá)60%~90%,卓著提高與基體的結(jié)合力改善膜層的性能。沉積速率高,改善鍍膜的效率。設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單,弧電源工作在低電壓大電流工況,工作較為安全。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。無錫真空鍍膜工藝

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所成立于2016-04-07,是一家專注于微納加工技術(shù)服務(wù),真空鍍膜技術(shù)服務(wù),紫外光刻技術(shù)服務(wù),材料刻蝕技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),公司位于長興路363號。公司經(jīng)常與行業(yè)內(nèi)技術(shù)專家交流學(xué)習(xí),研發(fā)出更好的產(chǎn)品給用戶使用。公司業(yè)務(wù)不斷豐富,主要經(jīng)營的業(yè)務(wù)包括:微納加工技術(shù)服務(wù),真空鍍膜技術(shù)服務(wù),紫外光刻技術(shù)服務(wù),材料刻蝕技術(shù)服務(wù)等多系列產(chǎn)品和服務(wù)??梢愿鶕?jù)客戶需求開發(fā)出多種不同功能的產(chǎn)品,深受客戶的好評。公司與行業(yè)上下游之間建立了長久親密的合作關(guān)系,確保微納加工技術(shù)服務(wù),真空鍍膜技術(shù)服務(wù),紫外光刻技術(shù)服務(wù),材料刻蝕技術(shù)服務(wù)在技術(shù)上與行業(yè)內(nèi)保持同步。產(chǎn)品質(zhì)量按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行研發(fā)生產(chǎn),絕不因價格而放棄質(zhì)量和聲譽(yù)。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所以誠信為原則,以安全、便利為基礎(chǔ),以優(yōu)惠價格為微納加工技術(shù)服務(wù),真空鍍膜技術(shù)服務(wù),紫外光刻技術(shù)服務(wù),材料刻蝕技術(shù)服務(wù)的客戶提供貼心服務(wù),努力贏得客戶的認(rèn)可和支持,歡迎新老客戶來我們公司參觀。

本文來自威海藍(lán)港教育咨詢有限公司:http://fdc.fj.cn/Article/27c7599897.html

    24 人參與回答
最佳回答
淮安商鋪裝修量房

淮安商鋪裝修量房

工裝 等 61 人贊同該回答

工裝設(shè)計可以理解為除了家庭裝修以外的都可以算做是工裝,飯店、酒店、辦公樓、商場等等都是算工裝,也可以叫做公裝,是公共建筑裝修裝飾的意思,相比較家庭裝修,工裝的工程量大很多。工裝和家裝的區(qū)別明顯的就是對 。

臺州通信工程函授專升本考試報名
臺州通信工程函授專升本考試報名
第1樓
20 等 78 人贊同該回答

2019年浙江省成人高校招生錄取比較低控制分?jǐn)?shù)線[發(fā)布時間:2019-11-21閱讀量:21439]1.專升本科類分?jǐn)?shù)線文史、中醫(yī)163藝術(shù)138理工120經(jīng)濟(jì)、管理120法學(xué)156教育學(xué)143農(nóng)學(xué)1 。

蘇州PCR實驗室凈化工程裝修
蘇州PCR實驗室凈化工程裝修
第2樓
百級 等 49 人贊同該回答

百級層流罩應(yīng)用:藥品生產(chǎn)廠房潔凈車間內(nèi),經(jīng)常會有局部百級區(qū),或要求某一個房間或幾個房間為百級,或要求某個房間內(nèi)部分區(qū)域為百級,這些百級區(qū)面積一般都不大,從幾十平方米到幾平方米甚至零點(diǎn)幾平方米不等,通常 。

杭州農(nóng)村地源熱泵
杭州農(nóng)村地源熱泵
第3樓
毛細(xì) 等 99 人贊同該回答

毛細(xì)管由于輻射面積密而廣,使它與常規(guī)系統(tǒng)傳遞的熱能更有效,因而系統(tǒng)表面與房間溫差非常小,因而更加有效節(jié)能到40%。毛細(xì)管網(wǎng)輻射空調(diào)順應(yīng)時代需求,毛細(xì)管網(wǎng)輻射空調(diào)系統(tǒng)主要是以輻射為主導(dǎo)的傳遞冷熱量,因此 。

燃?xì)怆妱忧蜷y供貨公司
燃?xì)怆妱忧蜷y供貨公司
第4樓
在農(nóng) 等 21 人贊同該回答

在農(nóng)業(yè)生產(chǎn)中,閥門是主要的排灌機(jī)械。我國農(nóng)村幅原廣闊,每年農(nóng)村都需要大量的閥門,一般來說農(nóng)用閥門占閥門總產(chǎn)量一半以上。在礦業(yè)和冶金工業(yè)中,閥門也是使用更多的設(shè)備。礦井需要用閥門排水,在選礦、冶煉和軋制 。

醫(yī)療植絨拭子批發(fā)
醫(yī)療植絨拭子批發(fā)
第5樓
公司 等 39 人贊同該回答

公司介紹本公司位于深圳市寶安區(qū)沙井鎮(zhèn)洪田恒昌榮高新產(chǎn)業(yè)園,主營DNA血樣采集卡,基因采集植絨拭子,唾液采集卡唾液采集器,生物物證提取棉簽,脫落細(xì)胞粘取器等,獲得廣大客戶的認(rèn)可。公司秉承“保證前列質(zhì)量, 。

浙江常見西門康二極管報價
浙江常見西門康二極管報價
第6樓
二極 等 58 人贊同該回答

二極管普遍的功能就是只允許電流由單一方向通過稱為順向偏壓),反向時阻斷稱為逆向偏壓)。因此,二極管可以想成電子版的逆止閥。然而實際上二極管并不會表現(xiàn)出如此完美的開與關(guān)的方向性,而是較為復(fù)雜的非線性電子 。

云南普洱茶有什么功效
云南普洱茶有什么功效
第7樓
影響 等 43 人贊同該回答

影響泡茶味道的幾個原因:1、投茶量在同一款茶葉的沖泡中,投茶量是決定茶湯質(zhì)量的關(guān)鍵因素,投茶量過大,則茶湯過濃,投茶量過少,則茶湯寡淡。一般來說100毫升左右大的蓋碗,放5—8g干茶,能夠充分體現(xiàn)一款 。

工業(yè)凈化工程施工業(yè)務(wù)價錢
工業(yè)凈化工程施工業(yè)務(wù)價錢
第8樓
進(jìn)入 等 43 人贊同該回答

進(jìn)入凈化工程施工的人員應(yīng)采取一些必要的清凈措施。氣幕與氣閘:由于吹淋小室往往就設(shè)在潔凈區(qū)的入口處,同潔凈區(qū)直接毗鄰,而且兩端的門往往相互連鎖啟閉,因此它不用于人員凈化,而且還有氣閘的作用,防止來自室外 。

金華手持式XRF分析儀光譜
金華手持式XRF分析儀光譜
第9樓
原材 等 23 人贊同該回答

原材料包括鋁、鈷、鉻、銅、不銹鋼、鈦、鎢等。但是,如果要使用其中任何一種材料,則其必須首先以純元素或合金粉末的形式存在。這種“粉末”可使用XRFX射線熒光)合金分析儀進(jìn)行檢測,保證將其轉(zhuǎn)變成重要成分之 。

黃埔堅強(qiáng)小兵夏令營效果
黃埔堅強(qiáng)小兵夏令營效果
第10樓
在夏 等 31 人贊同該回答

在夏令營一起訓(xùn)練的過程中,每個孩子都能積極參與,獲得了很大的樂趣和幫助,這是書本上和課堂上所沒有的,感受不到的夏令營提高了學(xué)生自理自立的能力。夏令營活動在父母不參與的情況下,都是由孩子們自主進(jìn)行自理生 。

此站點(diǎn)為系統(tǒng)演示站,內(nèi)容轉(zhuǎn)載自互聯(lián)網(wǎng),所有信息僅做測試用途,不保證內(nèi)容的真實性。不承擔(dān)此類 作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。

如若本網(wǎng)有任何內(nèi)容侵犯您的權(quán)益,侵權(quán)信息投訴/刪除進(jìn)行處理。聯(lián)系郵箱:10155573@qq.com

Copyright ? 2005 - 2024 威海藍(lán)港教育咨詢有限公司 All Rights Reserved 網(wǎng)站地圖

塘沽区| 临夏县| 柳河县| 鹤庆县| 绥江县| 辽阳市| 德阳市| 安塞县| 平度市| 图木舒克市| 东丽区| 丰城市| 库伦旗| 湟源县| 柳州市| 巴楚县| 皋兰县| 平南县| 莒南县| 军事| 尚义县| 怀化市| 新津县| 新余市| 黑水县| 吴川市| 沁源县| 汉沽区| 洪洞县| 太康县| 枝江市| 湘潭县| 安顺市| 宣城市| 若尔盖县| 三都| 红桥区| 伊春市| 临桂县| 抚松县| 福清市|